检测与量测设备作为半导体设备中的重要一环，难度较高，2020年中国大陆半导体量检测设备的市场规模为21亿美元，国产化率约为2%。中科飞测主要产品包括无图形晶圆缺陷检测设备、图形晶圆缺陷检测设备、三维形貌量测设备、薄膜膜厚量测设备、套刻精度量测设备等，已应用于国内28nm及以上制程的集成电路制造产线年下游存储、代工厂扩产进程、公司产品矩阵扩展及国产替代顺利导入，预计公司23/24/25年收入为8.9/13.0/18.7亿元。可比公司24年PS为9.2倍，考虑半导体检测和量测设备国产替代空间广阔、公司的龙头地位优势及成长性，给予一定估值溢价，首次覆盖中科飞测给予“买入”评级，目标价89.03元（24年22xPS）。

  SEMI预测2024年全球半导体设备销量或时隔两年转降为增，较2023年增长4%，至1053亿美元；2025年将保持增势，达到创历史新高的1240亿美元。除此以外，我们看到自2022年10月7日美国商务部宣布限制中国进口可用于加工14/16nm及以下逻辑芯片、18nm及以下的DRAM芯片和128层及以上的NAND芯片的设备，日本及荷兰亦相继出台相关设备出口政策，近两年国产厂商设备进口边际收紧。受此影响各类厂商正积极进行国产设备导入及验证，2020年大陆量检测设备国产化率约为2%，国产替代空间广阔。

  我们看好中科飞测：1）布局多款产品，有望进一步打开市场空间。公司已推出的设备对应的市场规模占2022年全球量检测设备总市场规模的27.2%，正在研发多款新产品所对应的市场规模占比将达到62.6%。2）细分产品领域填补大陆空白，性能对标海外龙头。中科飞测攻克了20-14nm产线晶圆缺陷光学检测设备，无图形晶圆缺陷检测设备S2已部分取代KLA的SurfscanSP3产品。公司三维形貌量测设备C2也已实现对帕克公司NXWafer产品的部分替代。

  公司在手订单高增，产品陆续进入大陆主流集成电路厂商生产线，客户包括中芯国际、华润微、长江存储等头部厂商。SEMI预计2024年，中国将新增18座新晶圆厂，产能将从760万片增至860万片，据我们测算，2024年中国本土厂商资本开支有望同比增长17.7%至295亿美元，看好中科飞测作为国产量检测设备重要供应商份额提升及业绩释放。